儀器校準(zhǔn)流程
儀器上電預(yù)熱穩(wěn)定后可進(jìn)入校準(zhǔn)流程。儀器校準(zhǔn)分為零點(diǎn)校準(zhǔn)和終點(diǎn)校準(zhǔn)。需保證儀器出氣口無阻塞,與大氣自由相通。校正時(shí)連接好氣路(保證氣路密閉不漏氣,氣路管材使用不銹鋼管材)。通氣前用大流量(通過屏幕操作設(shè)置流量200ml/min)校準(zhǔn)氣沖洗減壓閥和管路(打開標(biāo)氣瓶總閥并迅速關(guān)閉,此時(shí)減壓閥表頭充滿標(biāo)氣,等表頭的氣慢慢放完,再打開總閥并迅速關(guān)閉,重復(fù)3、4次該過程,然后將流量設(shè)置回50ml/min,進(jìn)入正常標(biāo)定流程)。
零點(diǎn)校準(zhǔn)過程:(6N等級純氬 或 5N等級通過純化器)
a、從儀器氣體入口處通入零點(diǎn)標(biāo)氣,等待數(shù)值穩(wěn)定。由于管路吸附等原因初始標(biāo)定需要二十幾個(gè)小時(shí),數(shù)值才能穩(wěn)定。
b、進(jìn)入標(biāo)定畫面。
c、如果零點(diǎn)校準(zhǔn)的濃度設(shè)定值與零點(diǎn)標(biāo)氣的標(biāo)稱濃度值不同,修改零點(diǎn)校準(zhǔn)的濃度設(shè)定。
d、按零點(diǎn)標(biāo)定按鈕,并在彈出對話框中確認(rèn),完成零點(diǎn)校準(zhǔn)。
終點(diǎn)標(biāo)定過程:(≥70%滿量程濃度值的氬中氮)
a、從儀器氣體入口處通入終點(diǎn)標(biāo)氣,等待穩(wěn)定。
b、進(jìn)入標(biāo)定畫面。
c、如果終點(diǎn)校準(zhǔn)的濃度設(shè)定值與終點(diǎn)標(biāo)氣的標(biāo)稱濃度值不同,修改終點(diǎn)校準(zhǔn)的濃度設(shè)定值。
d、按終點(diǎn)校準(zhǔn)按鈕,并在彈出對話框中確認(rèn),完成終點(diǎn)校準(zhǔn)。